Ako sa celosvetový polovodičový proces posúva smerom k pokročilým uzlom 3nm/2nm, presné titánové materiály (ASTM B265/B348, Titán s vysokou čistotou 1/2/5 triedy a zliatiny titánu) prechádzajú z „pomocných materiálov“ na kľúčové strategické materiály pre výrobu polovodičov s {{98} ultravysokými} - ultravysokými}} výhodami nečistoty, silnú tepelnú stabilitu, odolnosť proti korózii a{10}}nemagnetické vlastnosti. Pozornosť trhu a dopyt sa synchrónne zvyšujú.
Hlavná hnacia sila: Pokročilé procesy si vynucujú inovácie materiálov
Pokročilé polovodičové procesy (5 nm a menej) vyžadujú tri hlavné tvrdé základné požiadavky na materiály: presnosť na úrovni nanometrov, čistotu na atómovej úrovni a extrémnu environmentálnu stabilitu:
-Titánový cieľový materiál s vysokou čistotou (1. stupeň, čistota väčšia alebo rovná 99,999 %/5N): Materiál jadra PVD naprašovania, ktorý sa používa na medenú prepojovaciu bariérovú vrstvu, kontaktnú zástrčku, aby sa zabránilo difúzii atómov medi pri kontaminácii kremíkových plátkov, čo priamo určuje výťažnosť a výkon čipu, vhodný pre celý proces 130-3 nm.
-Presné konštrukčné komponenty (stupeň 2/5): pracovná doska litografického stroja, komora leptacieho stroja, vákuová príruba, plátkové robotické rameno atď., s nízkym koeficientom tepelnej rozťažnosti (8,6 × 10 ⁻⁶/stupeň) a deformáciou pri kolísaní teploty iba 1/3 hliníkovej zliatiny, čo zaisťuje presnosť polohovania na úrovni nanometrov
-Komponenty odolné voči korózii (stupeň 7): Odolné voči silnej kyslej/halogénovej korózii v zariadeniach na mokré leptanie a čistenie, bez znečistenia zrážaním kovov, vhodné pre extrémne pracovné podmienky vo vysokom vákuu a silnej plazme.
Hlavné výhody amerických štandardných titánových materiálov
1. Mimoriadne vysoká čistota + ultra{2}}nízke nečistoty: americký štandard 1. stupňa vysokej-čistoty titán s regulovateľnými nečistotami kyslík/dusík/uhlík<50ppm, no heavy metal pollution such as iron and nickel, meets SEMI F42 standards, and is suitable for advanced process atomic level cleanliness requirements.
2. Tepelná stabilita+rozmerová presnosť: nízka tepelná vodivosť (21,9W/(m · K)), malý koeficient tepelnej rozťažnosti, tolerancia do ± 0,005 mm, hladkosť povrchu Ra Menšia alebo rovná 0,4 μm, vhodné na montáž v nanometroch a vákuové tesnenie.
3. Odolnosť proti korózii+ne-magnetické+nízke uvoľňovanie plynov: prírodná oxidová vrstva sa sama -opravuje, odolná voči korózii Cl ₂/F ₂/silnými kyselinami; Nemagnetické a neinterferujúce s presnými obvodmi; Rýchlosť uvoľňovania vzduchu je extrémne nízka pri ultra-vysokom vákuu (UHV), čo zaisťuje čistotu komory.
4. Nízka hmotnosť a vysoká pevnosť: Hustota 4,51 g/cm ³ (o 40 % ľahšia ako nehrdzavejúca oceľ), pevnosť v ťahu 5. stupňa Väčšia alebo rovná 930 MPa, špecifická pevnosť dvojnásobná v porovnaní s nehrdzavejúcou oceľou, vhodná pre požiadavky na nízku hmotnosť vysoko-pohyblivých častí.
Scenáre základných aplikácií
-Titánový terčový materiál s vysokou čistotou (1. stupeň): PVD naprašovanie, používané na bariérovú vrstvu logických/ukladacích čipov a adhéznu vrstvu, s veľkosťou globálneho trhu 1,87 miliardy amerických dolárov v roku 2024 a CAGR 9,3 % od roku 2026 do roku 2030.
-Vákuová komora/príruba (2. stupeň): Vákuový systém pre zariadenia na leptanie a nanášanie, odolný voči vysokému tlaku, nízkemu uvoľňovaniu plynu a spoľahlivému utesneniu.
-Presné robotické rameno/koncový efektor (stupeň 5): prenos plátku, nízka hmotnosť a vysoká-pevnosť, presné umiestnenie a žiadne uvoľňovanie častíc.
-Obloženie/upevnenie odolné voči korózii (stupeň 7): Zariadenie na mokré spracovanie, odolné voči silným kyselinám, ako je HF/HCl, predlžuje životnosť zariadenia a znižuje náklady na údržbu.
Trend na trhu: domáca substitúcia + technologický prielom
Rozšírenie globálnej kapacity polovodičov (najmä v pevninskej Číne) spôsobilo rýchly rast dopytu po presných titánových materiáloch. V roku 2023 trhová veľkosť čínskych titánových presných dielov pre polovodiče presiahne 3 miliardy juanov s ročným tempom rastu viac ako 25 %. Dosiahla sa stabilná hromadná výroba amerických štandardných presných titánových materiálov Grade 1/2/5 (vrátane 0,05 mm ultra-tenkej titánovej fólie, vysoko{10}}čistoty cieľových materiálov a presných konštrukčných komponentov) s toleranciami a čistotou dosahujúcou medzinárodnú pokročilú úroveň, vďaka čomu je reťazec polovodičového priemyslu nezávisle kontrolovateľný.
V rámci pokročilých procesov a domácej náhrady pohonu dvoch kolies sa presné titánové materiály, ktoré spĺňajú americké normy, stali základnou podporou pre modernizáciu polovodičového priemyslu. V budúcnosti budú pokračovať v prenikaní smerom k vyššej čistote (6N), tenším špecifikáciám (menej alebo rovné 0,05 mm) a presnejšiemu obrábaniu (± 0,002 mm).
Vyžiadajte si cenovú ponuku
Email:bjcxtitanium@gmail.com
Whatsapp:+8613571718779
